[新启航]新启航技术革新：激光频率梳打破深孔测量壁垒，2μm 精度穿透 130mm 深度遮挡

摘要：本文聚焦深孔测量领域深度遮挡与精度不足的难题，介绍新启航激光频率梳技术。该技术凭借创新的测量原理与系统架构，有效穿透 130mm 深度遮挡，实现 2μm 高精度测量，为深孔测量技术的发展带来革命性突破。

关键词：新启航技术；激光频率梳；深孔测量；深度遮挡；测量精度

一、引言

在现代工业制造中，深孔零部件广泛应用于航空航天、汽车制造、模具加工等关键领域。精确获取深孔的三维形貌、尺寸参数等信息，对保障产品质量与性能至关重要。然而，深孔内部 130mm 的深度遮挡问题，使得传统测量技术难以兼顾测量深度与精度，成为制约深孔测量发展的瓶颈。新启航激光频率梳技术的出现，为打破这一壁垒提供了新的可能。

二、传统深孔测量方法的瓶颈

传统深孔测量手段面临诸多困境。接触式测量方法，如探针测量，在深入 130mm 深孔时，探针易发生弯曲变形，测量力难以精准控制，不仅容易损伤孔壁，还会导致测量误差显著增大，无法满足高精度测量需求。非接触式测量中的光学测量技术，受光线传播特性限制，在深孔内易出现光线衰减、反射干扰等问题，深度遮挡导致大量区域无法测量，难以获取完整的深孔三维信息；超声测量虽然能够穿透一定深度，但分辨率较低，难以捕捉深孔内微小结构变化，无法实现高精度测量。

三、新启航激光频率梳技术的原理与系统

新启航激光频率梳技术基于飞秒激光锁模原理，产生具有稳定频率间隔的光频梳齿。在深孔测量过程中，超短脉冲激光经分光系统分为测量光与参考光，测量光进入深孔后，在孔壁表面发生多次反射，反射光与参考光发生干涉，形成干涉光谱。通过对干涉光谱中梳齿频率的精确分析，利用光频梳的频率基准特性，可准确计算出测量光的光程差，进而反推出深孔各点的三维坐标，实现深孔 3D 轮廓测量。

该技术系统主要由高稳定性飞秒激光频率梳光源、精密光学分光与干涉模块、高速光谱采集装置以及高效数据处理算法模块构成。高稳定性光源确保测量基准的可靠性；精密光学模块保证干涉信号的高质量生成；高速光谱采集装置能够快速捕捉干涉光谱数据；而数据处理算法模块则可对海量数据进行高效处理，实现深孔三维信息的快速重建 。

四、新启航激光频率梳技术的突破性优势

4.1 穿透深度遮挡

新启航激光频率梳技术凭借激光的高相干性与独特的多路径反射机制，能够有效穿透 130mm 深度遮挡。通过优化光路设计与测量策略，即使深孔内部结构复杂，光线也可通过多次反射到达被遮挡区域，再经反射返回参与干涉测量，从而获取完整的深孔三维信息，打破了深度对测量的限制。

4.2 实现 2μm 高精度测量

该技术依托精确的光频梳齿基准与先进的数据处理算法，实现了 2μm 的高精度测量。无论是深孔的孔径变化、孔壁表面的微小起伏，还是内部缺陷，都能被精准捕捉，为深孔零部件的质量检测与工艺优化提供了可靠的数据支撑，满足了现代工业对深孔测量高精度的严苛要求。

五、应用案例与实践成果

在某航空发动机零部件制造企业，采用新启航激光频率梳技术对 130mm 深孔进行测量。传统测量方法仅能获取浅表层信息，无法对深孔底部进行有效检测。而激光频率梳技术不仅完整呈现了深孔的三维轮廓，还检测出深孔底部存在一处尺寸偏差达 3μm 的区域。企业据此调整加工工艺，使零部件合格率从 78% 提升至 93%，充分验证了该技术在实际应用中的有效性与先进性。

大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案

突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。

三大核心技术革新

1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。

2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，实现大视野与高精度的完美融合。

3）动态测量新维度：可集成多普勒激光测振系统，打破静态测量边界，实现 “动态” 3D 轮廓测量，为复杂工况下的测量需求提供全新解决方案。

实测验证硬核实力

1）硅片表面粗糙度检测：凭借优于 1nm 的超高分辨率，精准捕捉硅片表面微观起伏，实测粗糙度 Ra 值低至 0.7nm，为半导体制造品质把控提供可靠数据支撑。

（以上数据为新启航实测结果）

有机油膜厚度扫描：毫米级超大视野，轻松覆盖 5nm 级有机油膜，实现全区域高精度厚度检测，助力润滑材料研发与质量检测。

高深宽比结构测量：面对深蚀刻工艺形成的深槽结构，展现强大测量能力，精准获取槽深、槽宽数据，解决行业测量难题。

分层膜厚无损检测：采用非接触、非破坏测量方式，对多层薄膜进行 3D 形貌重构，精准分析各层膜厚分布，为薄膜材料研究提供无损检测新方案。

新启航半导体，专业提供综合光学3D测量解决方案！